Der Mikroelektronika Botevgrad CM632 (SM632) ist ein Nachbau der Input/Output-Unit (IOU) des Apple 2.
Das Die des SM632 wurde wie das Die des CM631 - SM631 mit einer klebrigen Masse geschützt. Auf Grund des breiteren Rahmens sind die Abmessung mit 3,76mm x 3,54mm etwas größer als beim Apple 344-0022. Die minimalen Strukturbreiten liegen ebenfalls im Bereich von 6µm.
Der SM632 zeigt eine große Ähnlichkeit zum Apple 344-0022. Die meisten Bereiche stellen ein exaktes Abbild dar. Es handelt sich aber nicht um die gleichen Maskensätze, kleinere Unterschiede sind durchaus vorhanden.
Der größte Unterschied zum Apple 344-0022 findet sich in der linken unteren Ecke. Dort wurden beim SM632 sowohl innerhalb als auch außerhalb der Versorgungs-Rahmenstruktur zusätzliche Schaltungsteile platziert. Im Apple 344-0022 sind an diesen Stellen Freiräume. Es muss sich dabei nicht unbedingt um eine Schaltung handeln, die von Mikroelektronika Botevgrad ergänzt wurde. Wie beim Apple 344-0022 beschrieben, wurden mehrere Varianten der Input/Output-Unit gefertigt. Ein bekannter Unterschied ist die Unterstützung der verschiedenen Video-Standards. Es existieren auch Varianten, die sowohl 50Hz- als auch 60Hz-Bildwiederholrate unterstützen. Es ist absolut denkbar, dass die zusätzlichen Schaltungsteile in einer anderen Variante der Apple-IOU zu finden sind und dort genau diese leicht unterschiedlichen Funktionen unterstützen.
Das Die trägt die Bezeichnung SM632. Die Zeichen A7H erinnern an die an die Zeichenfolge B2D des CM602 - SM602 aber vor allem an die Zeichenfolge A5H des CM631 - SM631. Es könnte sich dabei um eine Kennzeichnung des Fertigungsprozesses handeln.
In der oberen rechten Ecke dieses Bilds sind die Bezeichnungen von sechs Masken zu erkennen. Die fünfte Maske, die die Metalllage definiert, ist allerdings nur mit zwei Quadraten gekennzeichnet.
Die Kreuze im linken Bereich ermöglichen es die korrekte Platzierung der Masken zu überwachen. Die rechts folgenden Strukturen zeigen die Qualität der optischen Prozesse auf.
Die aus zwei 90°-Winkeln bestehenden Symbole ermöglichen es den Herstellungsprozess
etwas besser zu verstehen. Die Maske des ersten Symbols ganz links legt die aktiven Bereiche frei. In diesen
Bereichen wird die dicke, initiale Siliziumoxidschicht, das sogenannte
Fieldoxide entfernt. Die folgenden zwei Symbole befinden sich in einem
Ausschnitt, der anscheinend mit der ersten Maske erstellt wurde.
Die Maske
des zweiten Symbols formt vermutlich die sogenannten channel-stopper, die die
unterschiedlichen Transistoren voneinander isolieren. Während sich das Symbol
farblich nicht vom Sustrat abhebt, stellt sich die zughörige Maskenbezeichnung
grün dar. Wahrscheinlich wirkt sich der Prozess im aktiven Bereich anders aus
als auf dem dicken Fieldoxide.
Die Maske des dritten Symbols (orange) erzeugt
die Polysiliziumschicht, die unter anderem die
Gates der Transistoren darstellt. Dieser Zusammenhang ist gut bei den Ausgangstreibern an den Bondpads zu
erkennen. Ist die Gateelektrode aufgebracht, so kann der Drain- und der
Sourcebereich ohne eine weitere Maske dotiert werden. Es handelt sich um einen
sogenannten self-aligned-gate-Prozess, bei dem die Dotierung automatisch die
gewünschten Bereiche erreicht und das Gate sich zentriert dazwischen befindet.
Die Polysiliziumschicht bildet unter dem vierten Symbol eine quadratische
Fläche.
Die Maske des vierten Symbols, das sich auf dem Polysilizium-Quadrat
befindet, definiert die Durchkontaktierungen, über die die Metalllage später die
Polysiliziumschicht kontaktieren kann.
Die Maske des fünften Symbols
definiert die Metalllage, was durch seine Farbe und Struktur gut zu erkennen
ist.
Die sechste und letzte Maske erzeugt die Bondpads. Wahrscheinlich wird dort die vorher
aufgetragene Passivierungsschicht entfernt. Es kann auch sein, dass die Bondpads
beschichtet wurden, so dass die Bondvorgänge sauberer erfolgen können und die
Bondverbindungen haltbarer werden.
Die Maskenanzahl des SM632 stimmt scheinbar nicht ganz mit der Maskenanzahl des Apple 344-0022 überein. Es scheint, als ob beim 344-0022 auf die letzte Maske, die die Bondpads definiert, verzichtet wurde. Tatsächlich wurden aber auch die Bondpads des 344-022 auf irgendeinen Art angepasst. Vielleicht verzichtete man dort auf die Kennzeichnung dieser relativ einfachen Maske.
An der rechten und unteren Kante des Dies sind diverse Rasterstrukturen zu erkennen, die von verschiedenen Masken abgebildet wurden. Die Strukturen dienen entweder der Justierung der Masken oder der späteren optischen Kontrolle der Ausrichtung oder beidem.
