Mit dem ADXL337 bietet Analog Devices einen 3-Achsen-Beschleunigungssensor in einem Epoxidpackage.
Enthalten ist wie beim AIS328DQ ein Auswerte-Die und ein Silizium-Block, der das MEMS-Element enthält.
Diese Elektronenmikroskop-Aufnahme stammt wie beim ADXL202 von Dirk Zielke. Es zeigt die MEMS-Struktur im Silizium-Block. Im Bereich rechts unten ist eine Feder und ein kleiner Teil der Elektroden beschädigt.
Der Aufbau ähnelt dem ADXL213. Das Massesystem kann sich zusätzlich in Z-Richtung bewegen. Über die Kapazität zwischen dem Massesystem und einer darunter liegenden Elektrode können Beschleunigungen in der Z-Achse bestimmt werden.
